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描述：儀器由四探針測(cè)試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x兩分組成。具有測(cè)量度，靈敏度，穩(wěn)定性好，測(cè)量范圍寬，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便等點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 恒奧德 |
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| 能薄膜性測(cè)試儀型號(hào):HAD0-70601 | |
| 儀器由四探針測(cè)試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x兩分組成。具有測(cè)量度，靈敏度，穩(wěn)定性好，測(cè)量范圍寬，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便等點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。 四探針測(cè)試儀由主機(jī)，測(cè)試架等分組成。可以測(cè)量片狀，塊狀，塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻），能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的性，還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低，中值電阻行測(cè)量。測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確，游移率小，壽命長(zhǎng)。 非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x由樣品室，溫控系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，阻測(cè)量系統(tǒng)等分組成。 1. 測(cè)量范圍：電阻測(cè)量范圍：1×106 1×1017Ω； 電阻率：0.001～200Ω cm; 電導(dǎo)率：0.005～1000s/cm; 2. 可測(cè)晶片直徑：200mm×200mm; 3. 探針：碳化鎢或速鋼；探針間距：1± 0.01mm; 4. 針間緣電阻： ≥ 1000 MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%； 5. 本底真空度： ≤10Pa,氣壓可控范圍：10～400Pa; 襯底加熱溫度：室溫度～200℃ | 能薄膜性測(cè)試儀 |
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 | 產(chǎn)品名稱：綜合校驗(yàn)儀 產(chǎn)品型號(hào)：HS-VD3002 |
綜合校驗(yàn)儀 型號(hào)：HS-VD3002
本儀器采用三路立LED數(shù)碼顯示系統(tǒng)，內(nèi)置兩組立的穩(wěn)定信號(hào)發(fā)生器，可同時(shí)顯示兩路輸出直模擬電壓、電信號(hào)及路測(cè)量直電、電壓信號(hào)。本儀器采用交供電、顯示清楚、穩(wěn)定，既能使用于實(shí)驗(yàn)室對(duì)自動(dòng)化儀表行維修、校驗(yàn)及計(jì)量，又能使用于現(xiàn)場(chǎng)，對(duì)儀表行安裝、調(diào)試及維修。
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